專利名稱：電容性傳感器專利類型：發(fā)明專利
發(fā)明人：奧瑞利·休伯特,馬蒂亞斯·梅茲,尤里·維克多諾維奇·
波諾瑪廖夫,羅?！み_(dá)門,馬庫(kù)斯·J·H·范達(dá)綸
申請(qǐng)?zhí)枺篊N201010598155.1申請(qǐng)日：20101215公開號(hào)：CN102162804A公開日：20110824
摘要：一種用于檢測(cè)物質(zhì)的存在的電容性傳感器，包括：多個(gè)直立導(dǎo)電柱，布置在傳感器的第一層中；連接到所述柱的第一組的第一電極；連接到所述柱的不同的第二組的第二電極；以及用于響應(yīng)于所述物質(zhì)的存在改變傳感器的電容的、布置為與柱相鄰的電介質(zhì)材料。
申請(qǐng)人：NXP股份有限公司
地址：荷蘭艾恩德霍芬
國(guó)籍：NL
代理機(jī)構(gòu)：中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
代理人：王波波
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